半導(dǎo)體設(shè)備蝕刻、CVD、PVD等工藝熱處理成套解決方案
擁有全新的SDP開發(fā)工藝技術(shù)，能夠根據(jù)用戶端的實際需求實現(xiàn)數(shù)字建模，熱場仿真，力學(xué)仿真，實物產(chǎn)品開發(fā)，驗證測試，清洗包裝等全套解決方案。
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